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曝光机的工作原理
涡凹曝气机适用范围
涡凹曝气机的吸附效果
涡凹曝气机在曝气池中使用
涡凹曝气机的调整

 
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详细信息 :

 


     曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业,是在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物进行曝光。
     曝光机在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。
     曝光机主要用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。
 
 
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